Metrologie en analyse

Welke methode beoordeelt of herhaalbaarheid en reproduceerbaarheid van een meetinstrument voldoende klein zijn ten opzichte van de spreiding van het te beheersen proces?

  1. AParetoanalyse
  2. BGauge R&R (meetsysteemanalyse)
  3. CFMEA
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Gauge R&R (meetsysteemanalyse)

De spreiding van meetwaarden bevat naast de spreiding van het proces zelf ook de spreiding van het meetinstrument. Bij gauge R&R worden de spreiding bij herhaald meten van hetzelfde monster (herhaalbaarheid) en de spreiding bij wisseling van operator of apparaat (reproduceerbaarheid) beoordeeld. Als richtlijn geldt dat een meetspreiding van minder dan 10% van het toegestane bereik goed is, en dat boven 30% de meting niet bruikbaar is voor procesbeheersing. Paretoanalyse en FMEA zijn methoden met een ander doel.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Metrologie en analyse

  1. Wat is de belangrijkste reden dat fijne patronen van enkele tientallen nm niet rechtstreeks met een optische microscoop kunnen worden waargenomen?
  2. Welke relatie wordt gebruikt om uit de verandering van de waferkromming voor en na laagafzetting de filmspanning te bepalen?
  3. SIMS meet de concentratie van onzuiverheidsatomen. Welke methode meet daarentegen de diepteverdeling van de elektrisch actieve dragerconcentratie?
  4. Hoe heet metrologie waarbij productwafers halverwege een proces in de productielijn worden gemeten om het proces te bewaken?
  5. Welke inspectie detecteert onder meer geleidingsdefecten van contacten met behulp van helderheidsverschillen door verschillen in oplading bij bestraling met een elektronenbundel?

Vergelijkingen bij dit onderwerp