Hoe heet het verschijnsel waarbij bij het meten met een CD-SEM van ArF-resistpatronen het patroon door de elektronenbestraling krimpt?

Antwoord: A. Shrinkage (krimp van de resist door elektronenbundel)

ArF-resist is gevoelig voor elektronenbundels; bij elektronenbestraling voor de meting worden moleculen ontleed, neemt het volume af en krimpt het patroon. Omdat de waarde bij elke meting verandert, wordt de bestralingsdosis verlaagd of wordt de krimp vooraf bepaald en gecorrigeerd. Charge-up is het verschijnsel waarbij lading zich op een isolator ophoopt en het beeld vervormt, en drift is het verschijnsel waarbij beeld- of apparaatwaarden in de tijd verschuiven; beide zijn geen krimpverschijnselen.