Statische, dynamische en wafer-level burn-in: stress, dekking en kosten vergeleken
Burn-in is een screening waarbij producten bij hoge temperatuur en een spanning boven de nominale waarde onder voeding worden gezet, om producten die gevoelig zijn voor vroege uitval vóór verzending te verwijderen. Bij statische burn-in worden alleen voeding en een vaste bias aangelegd zonder de schakeling te laten werken; de apparatuur is eenvoudig, maar de delen die stress krijgen zijn beperkt. Bij dynamische burn-in worden klok- en testpatronen aangeboden terwijl de interne schakelingen werken, zodat een groter deel stress krijgt. Wafer-level burn-in verschilt in de processtap: de stress wordt in één keer aangebracht op de wafer vóór het dicen, zodat defecte chips worden gevonden voordat ze in een package gaan.
| Kenmerk | Statische burn-in | Dynamische burn-in | Wafer-level burn-in |
|---|---|---|---|
| Manier van stress aanbrengen | Bij hoge temperatuur alleen voedingsspanning en een vaste bias aanleggen. De schakeling werkt niet | Bij hoge temperatuur en hoge spanning klok- en testpatronen aanbieden en de interne nodes laten schakelen tussen 0 en 1 | Voeding en signalen worden met contactelementen in één keer aangelegd op de vele chips op de wafer |
| Processtap | Na het verpakken | Na het verpakken | Vóór het dicen (in de vorm van een wafer) |
| Typische condities | Ongeveer 125 °C, voedingsspanning boven de nominale waarde, enkele uren tot enkele tientallen uren | Ongeveer 125 °C, voedingsspanning boven de nominale waarde, enkele uren tot enkele tientallen uren | Hetzelfde principe van versnelling met temperatuur en spanning. De condities worden afgestemd op product en apparatuur |
| Gestreste delen | Beperkt tot delen die via de vaste ingangen bias krijgen; veel interne nodes blijven in een vaste toestand | Door de interne schakelingen te laten werken met scan, BIST enzovoort kunnen meer transistors en interconnect stress krijgen | Afhankelijk van de methode. Alleen voeding en bias, of werking via bijvoorbeeld zelftestschakelingen op de chip |
| Goed te vinden defecten | Defecten die door spanning worden versneld in delen die bias krijgen, zoals zwakke plekken in het oxide en junctielekkage | Vroege uitval, inclusief in delen die tijdens werking stress krijgen, vollediger te vinden | Chips met vroege uitval zijn te vinden voordat ze in een package gaan |
| Apparatuur en fixtures | Eenvoudig. Burn-in-boards, oven, voeding | Boards met drivers die signalen opwekken en bijbehorende apparatuur zijn nodig | Speciale contactelementen die het hele waferoppervlak raken en speciale apparatuur zijn nodig; duur |
| Bewaking van de werking | Normaal niet. Beoordeling met de elektrische test na de burn-in | Er zijn ook methoden waarbij de uitgangen tijdens de burn-in worden bewaakt | Afhankelijk van de methode |
| Kosten | Laag | Hoger | Fixtures en apparatuur zijn duur, maar defecte chips hoeven niet in een package te worden gezet |
| Belangrijkste uitdagingen | Lage dekking van de stress | Bij producten met een hoog vermogensverbruik is de warmteontwikkeling groot en de temperatuurbeheersing moeilijk | Betrouwbaar contact met vele chips, voedingscapaciteit en warmteontwikkeling over de hele wafer, isoleren van defecte chips |
| Belangrijkste toepassingen | Producten met een eenvoudige structuur of waarbij spanningsstress de hoofdzaak is | Producten met hoge betrouwbaarheid voor automotive en servers, zoals logic-IC's, geheugens en processors | Multichippackages waarvoor known good die (KGD) nodig is, gestapeld geheugen, producten die als losse die worden geleverd |
De getalswaarden zijn typische ordegroottes en variëren per procesgeneratie en product.