CMP와 세정
황산과 과산화수소수의 혼합액(SPM)을 이용한 세정의 주된 목적은?
- A레지스트 등 유기물 제거
- B자연 산화막 제거
- C구리 증착
정답과 해설 보기
정답: A. 레지스트 등 유기물 제거
SPM(H2SO4:H2O2, 예: 4:1, 120~150 ℃ 정도)은 혼합 시 생성되는 퍼옥소일황산(카로산)의 강한 산화력으로 레지스트 잔류물 등의 유기물을 분해하여 제거합니다. 애싱 후 세정이나 이온 주입 후 레지스트 제거 등에 사용되며, '피라냐 용액'이라고 불릴 만큼 반응성이 높아 취급에 주의가 필요합니다. 황산 사용량이 많기 때문에 오존수 등으로의 대체도 추진되고 있습니다.