スラリー란?
すらりー
CMPで使う、微細な研磨粒子を薬液に分散させた液体。化学的な作用と機械的な研磨を組み合わせて表面を平らにする。
일본어 명칭: スラリー
분야: CMP와 세정
관련 용어
枚葉式洗浄 自然酸化膜 希フッ酸(DHF) CMP RCA洗浄 SC-1(APM) SC-2(HPM) SPM(硫酸過水) エロージョン セリア(酸化セリウム)
すらりー
CMPで使う、微細な研磨粒子を薬液に分散させた液体。化学的な作用と機械的な研磨を組み合わせて表面を平らにする。
일본어 명칭: スラリー
분야: CMP와 세정
枚葉式洗浄 自然酸化膜 希フッ酸(DHF) CMP RCA洗浄 SC-1(APM) SC-2(HPM) SPM(硫酸過水) エロージョン セリア(酸化セリウム)