枚葉式洗浄란?

まいようしきせんじょう

ウエハを1枚ずつ処理する洗浄方式。ウエハ間の相互汚染が起こりにくく、条件を1枚ごとに制御しやすい。多数を一度に薬液槽に浸す方式はバッチ式。

일본어 명칭: 枚葉式洗浄

분야: CMP와 세정