自然酸化膜란?

しぜんさんかまく

シリコンが空気や水に触れることで自然にできる、厚さ1 nm前後の薄い酸化膜。コンタクト抵抗の増加やエピタキシャル成長の妨げになるため、必要な工程の直前に除去する。

일본어 명칭: 自然酸化膜