CMP와 세정

오존을 녹인 초순수(오존수)를 세정에 사용하는 주된 목적은?

  1. A금속막을 증착한다
  2. B웨이퍼를 연마한다
  3. C유기물을 산화 분해하여 제거한다
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정답: C. 유기물을 산화 분해하여 제거한다

수~수십 ppm의 오존을 녹인 오존수는 강한 산화력을 지녀, 상온에서 유기물을 산화 분해하거나 실리콘 표면에 얇은 산화막을 형성할 수 있습니다. 사용 후에는 산소로 분해되어 폐액 처리가 쉬우며, 황산과 과산화수소를 대량으로 사용하는 SPM 등에 비해 약액 사용량과 CO2 배출을 줄일 수 있는 환경 부하가 작은 세정으로 이용되고 있습니다. 희석 불산과 번갈아 사용하는 세정에도 응용됩니다.

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