박막 증착(CVD와 PVD)

스퍼터링에 의한 성막은 다음 중 무엇으로 분류됩니까?

  1. APVD(물리 기상 증착)
  2. BCVD(화학 기상 증착)
  3. C열산화
정답과 해설 보기

정답: A. PVD(물리 기상 증착)

스퍼터링은 아르곤 등의 플라즈마 속 이온을 수백 V로 가속하여 타깃에 충돌시키고, 운동량을 받아 튀어나온 원자를 웨이퍼에 증착하는 방법으로, 화학 반응을 사용하지 않는 물리적 현상이므로 PVD(물리 기상 증착)로 분류됩니다. 금속 배선, 배리어 메탈(Ta, TiN 등), Cu 시드층, 전극 등의 성막에 사용됩니다. CVD는 원료 가스의 화학 반응, 열산화는 실리콘 자체의 산화입니다.

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