熱酸化란?
ねつさんか
シリコンを酸素や水蒸気の中で加熱し、表面にSiO2膜をつくる方法。ドライ酸化とウェット酸化がある。
일본어 명칭: 熱酸化
분야: 산화와 확산
관련 용어
可動イオン 界面準位 酸窒化膜(SiON) 酸化増速拡散(OED) 熱拡散 Deal-Groveモデル LOCOS RTP(急速熱処理) STI(シャロートレンチ分離) ウェット酸化
ねつさんか
シリコンを酸素や水蒸気の中で加熱し、表面にSiO2膜をつくる方法。ドライ酸化とウェット酸化がある。
일본어 명칭: 熱酸化
분야: 산화와 확산
可動イオン 界面準位 酸窒化膜(SiON) 酸化増速拡散(OED) 熱拡散 Deal-Groveモデル LOCOS RTP(急速熱処理) STI(シャロートレンチ分離) ウェット酸化