スパッタリング란?

すぱったりんぐ

プラズマ中のイオンをターゲットに衝突させ、はじき出された原子をウエハに堆積させるPVDの一種。

일본어 명칭: スパッタリング

분야: 박막 증착(CVD와 PVD)

이 용어가 포함된 비교

관련 용어

領域選択成膜 反応性スパッタリング 電解めっき 真空蒸着 静電チャック ALD CVD HDP-CVD(高密度プラズマCVD) LPCVD(減圧CVD) PECVD(プラズマCVD)

용어집으로 돌아가기