박막 증착(CVD와 PVD)
CVD, PVD, ALD의 차이, 스퍼터링, 플라즈마 CVD의 장점을 객관식 문제로 학습합니다.
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박막 증착(CVD와 PVD): 핵심 정리
증착은 웨이퍼 위에 절연막, 반도체막, 금속막 등의 박막을 형성하는 공정입니다. 크게 기체의 화학 반응으로 막을 형성하는 CVD와, 스퍼터링이나 증발처럼 물리적으로 형성하는 PVD로 나뉩니다.
소자가 미세해지고 3차원화됨에 따라, 원자층 단위로 막 두께를 제어하고 깊은 트렌치도 균일하게 덮을 수 있는 ALD의 중요성이 커지고 있습니다.