バリアメタル란?

ばりあめたる

銅配線の周りに設け、銅が絶縁膜やシリコンへ拡散するのを防ぐ薄い金属膜。TaやTaNなど。

일본어 명칭: バリアメタル

분야: 배선 공정

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多層配線裏面電源供給表皮効果 IRドロップ Low-k材料 MOL(ミドル・オブ・ライン) RC遅延エアギャップクロストークコンタクト

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