Qu'est-ce que Dépôt par centrifugation (spin coating) ?

Méthode qui forme un film mince uniforme en déposant un liquide au centre de la plaquette puis en la faisant tourner rapidement (force centrifuge). Utilisée pour la résine photosensible et les isolants déposés par voie liquide.

Nom japonais: スピンコート

Domaine: Dépôt (CVD et PVD)