スピンコート란?
すぴんこーと
液状の材料をウエハの中心に滴下し、高速で回転させて遠心力で均一な薄い膜をつくる方法。フォトレジストや塗布型の絶縁膜の形成に使われる。
일본어 명칭: スピンコート
분야: 박막 증착(CVD와 PVD)
관련 용어
領域選択成膜 反応性スパッタリング 電解めっき 真空蒸着 静電チャック ALD CVD HDP-CVD(高密度プラズマCVD) LPCVD(減圧CVD) PECVD(プラズマCVD)
すぴんこーと
液状の材料をウエハの中心に滴下し、高速で回転させて遠心力で均一な薄い膜をつくる方法。フォトレジストや塗布型の絶縁膜の形成に使われる。
일본어 명칭: スピンコート
분야: 박막 증착(CVD와 PVD)
領域選択成膜 反応性スパッタリング 電解めっき 真空蒸着 静電チャック ALD CVD HDP-CVD(高密度プラズマCVD) LPCVD(減圧CVD) PECVD(プラズマCVD)