Qu'est-ce que SADP (double patterning auto-aligné) ?

Réponse : A. SADP/SAQP (double/quadruple structuration auto-alignée)

En SADP, un film uniforme est déposé par ALD ou analogue sur les flancs d'un motif servant de mandrin pour former des espaceurs, puis le mandrin est retiré, ce qui donne des traits de densité double. La SAQP répète l'opération deux fois pour quadrupler la densité. La largeur des traits étant déterminée par l'épaisseur du film et non par l'exposition, la dispersion est faible, et l'on obtient des ailettes et interconnexions plus fines que la limite de la lithographie ArF à immersion (pas d'environ 80 nm). Même avec l'EUV, elle est combinée pour les pas les plus fins.

Réponse : B. Former des motifs à pas trop fin pour être résolus en une seule exposition en répartissant le travail sur plusieurs expositions ou étapes d'usinage

Le double patterning forme des motifs à pas trop fin pour une seule exposition, soit en les divisant en deux motifs décimés exposés et gravés séparément (LELE), soit en doublant les lignes grâce à des espaceurs déposés sur les flancs (SADP, SAQP). Il a permis de poursuivre la miniaturisation au-delà de la limite de l'ArF à immersion (pas d'environ 80 nm) jusqu'à des pas de l'ordre de 20 nm, mais le nombre d'étapes, de masques et le coût augmentent fortement, ce qui a motivé l'introduction de la lithographie EUV.