Was ist RIE (reaktives Ionenätzen)?
Trockenätzen, das reaktive Spezies im Plasma mit durch ein elektrisches Feld beschleunigten Ionen kombiniert. Es ermöglicht vertikales, anisotropes Ätzen.
Japanische Bezeichnung: RIE(反応性イオンエッチング)
Fachgebiet: Ätzen
Vergleiche mit diesem Begriff
Verwandte Begriffe
ALE (Atomlagenätzen) Anisotropes Ätzen Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Aspektverhältnis Ätzselektivität Endpunkterkennung Gepufferte Flusssäure (BHF) Hartmaske (Hard Mask) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma)