Wat is Patroonineenstorting (pattern collapse)?

Defect waarbij hoge-aspectverhouding-patronen tijdens reinigen en drogen omvallen of aan elkaar plakken door de oppervlaktespanning van vloeistof die tussen de patronen is achtergebleven.

Japanse benaming: パターン倒壊

Vakgebied: CMP en reiniging

Verwante termen

Ceria (ceriumoxide) CMP Dishing Erosie (erosion) Megasonisch reinigen Natuurlijk oxide (native oxide) Padconditionering RCA-reiniging SC-1 (APM) SC-2 (HPM)

Naar de woordenlijst