Was ist Strukturkollaps (Pattern Collapse)?

Defekt, bei dem hohe, feine Strukturen beim Reinigen und Trocknen durch die Oberflächenspannung zwischen ihnen verbliebener Flüssigkeit umkippen oder aneinanderkleben.

Japanische Bezeichnung: パターン倒壊

Fachgebiet: CMP und Reinigung

Verwandte Begriffe

Ceroxid (Ceria) CMP (chemisch-mechanisches Polieren) Dishing (Muldenbildung) Einzelwaferreinigung Erosion Megasonic-Reinigung Natives Oxid Pad-Konditionierung Prestonsche Gleichung RCA-Reinigung

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