Technique qui presse un moule portant des motifs fins sur la résine de la plaquette pour transférer le motif. Elle permet de créer des motifs fins sans optique coûteuse.
Nom japonais: ナノインプリントリソグラフィ
« Lithographie par nano-impression » apparaît dans 1 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont Lithographie.
Domaine: Lithographie
Réponse : C. Lithographie par nano-impression
La lithographie par nano-impression presse un moule (gabarit) portant un motif en relief contre une résine liquide déposée sur le wafer, la durcit par ultraviolet, puis retire le moule pour reproduire la forme. Sans limite de diffraction, elle peut transférer des motifs de l'ordre de 10 nm et, ne nécessitant pas d'optique coûteuse, réduit le coût et la consommation de l'équipement. Canon a développé un équipement de production et sa mise en œuvre progresse notamment pour la 3D NAND, mais la maîtrise des défauts et la superposition restent des défis.
La lithographie par nano-impression presse un moule (gabarit) portant un motif en relief contre une résine liquide déposée sur le wafer, la durcit par ultraviolet, puis retire le moule pour reproduire la forme.
Comment appelle-t-on la technique qui transfère un motif en…3D NAND Couche antireflet (BARC) EUV High-NA Fenêtre de procédé Laser excimère ArF Lithographie à immersion Lithographie EUV Masque à décalage de phase Multi-patterning OPC (correction optique de proximité)