Comment appelle-t-on la technique qui transfère un motif en pressant contre la résine un moule portant des motifs fins ?

Réponse : C. Lithographie par nano-impression

La lithographie par nano-impression presse un moule (gabarit) portant un motif en relief contre une résine liquide déposée sur le wafer, la durcit par ultraviolet, puis retire le moule pour reproduire la forme. Sans limite de diffraction, elle peut transférer des motifs de l'ordre de 10 nm et, ne nécessitant pas d'optique coûteuse, réduit le coût et la consommation de l'équipement. Canon a développé un équipement de production et sa mise en œuvre progresse notamment pour la 3D NAND, mais la maîtrise des défauts et la superposition restent des défis.