Techniek waarbij een mal (mold) met een fijn patroon in de resist op de wafer wordt gedrukt om het patroon over te dragen. Maakt fijne patronen mogelijk zonder dure optica.
Japanse benaming: ナノインプリントリソグラフィ
“Nano-imprintlithografie” komt voor in 1 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Lithografie.
Vakgebied: Lithografie
Antwoord: C. Nano-imprintlithografie
Nano-imprintlithografie is een techniek waarbij een matrijs (template) met een patroon van verhogingen en verdiepingen op vloeibare resist op de wafer wordt gedrukt, met ultraviolet licht wordt uitgehard en daarna wordt losgemaakt om de vorm over te nemen. Er is geen diffractiegrens van licht en patronen van enkele tientallen nm kunnen worden overgebracht, en omdat dure optiek niet nodig is, kunnen kosten en vermogen van het apparaat worden beperkt. Canon heeft een apparaat voor massaproductie ontwikkeld en de praktische toepassing, onder meer voor 3D NAND, wordt voortgezet, maar het onderdrukken van defecten en overlay zijn uitdagingen.
Nano-imprintlithografie is een techniek waarbij een matrijs (template) met een patroon van verhogingen en verdiepingen op vloeibare resist op de wafer wordt gedrukt, met ultraviolet licht wordt uitgehard en daarna wordt losgemaakt om de vorm over te nemen.
Hoe heet de techniek waarbij een matrijs (mold) met een fij…3D NAND Overlay (overlaynauwkeurigheid) Antireflectiecoating (BARC) ArF-excimeerlaser Chemisch versterkte resist (CAR) EUV-belichting Fasenverschuivingsmasker (phase-shift mask) Fotomasker (reticle) Fotoresist High-NA EUV