Was ist Nanoimprint-Lithografie?
Übertragen von Mustern, indem eine Form mit feinen Strukturen in Resist auf dem Wafer gedrückt wird. Sie erzeugt feine Muster ohne teure Optik.
Japanische Bezeichnung: ナノインプリントリソグラフィ
Fachgebiet: Lithografie
Verwandte Begriffe
ArF-Excimerlaser Bodenseitige Antireflexschicht (BARC) Chemisch verstärkter Resist EUV-Lithografie Fotolack High-NA-EUV Immersionslithografie Linienkantenrauheit (LER) Mehrfachstrukturierung (Multiple Patterning) Numerische Apertur (NA)