Was ist Mini-Environment (Minienvironment)?

Nur der kleine Raum um die Wafer wird hochrein gehalten. Geschlossene Behälter wie FOUPs in Kombination mit EFEMs an den Anlagen senken die Reinheitsanforderung an den gesamten Raum und damit die Kosten.

Japanische Bezeichnung: ミニエンバイロメント

Fachgebiet: Reinräume und Anlagen