Solution d'acide fluorhydrique tamponnée par du fluorure d'ammonium. Utilisée pour la gravure humide du SiO2, avec une vitesse de gravure stable et peu de dommages à la résine.
Nom japonais: バッファードフッ酸(BHF)
« Acide fluorhydrique tamponné (BHF) » apparaît dans 1 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont Gravure.
Domaine: Gravure
Réponse : C. Acide fluorhydrique tamponné (BHF)
L'acide fluorhydrique tamponné est une solution d'acide fluorhydrique additionnée de fluorure d'ammonium pour stabiliser le pH ; la concentration de l'espèce dissolvant l'oxyde (HF2⁻) varie peu avec l'épuisement du bain, la vitesse de gravure est stable et la résine se décolle peu. Sur oxyde thermique, la vitesse est de quelques dizaines à environ 100 nm par minute. Elle sert au tracé de motifs dans l'oxyde, au retrait de l'oxyde natif et à l'évaluation de la qualité des films.
L'acide fluorhydrique tamponné est une solution d'acide fluorhydrique additionnée de fluorure d'ammonium pour stabiliser le pH ; la concentration de l'espèce dissolvant l'oxyde (HF2⁻) varie peu avec l'épuisement du bain, la vitesse de gravure est stable et la résine se décolle peu.
Quelle solution utilisée pour la gravure humide du SiO2 est…Gravure humide Oxyde natif ALE (gravure de couches atomiques) ARDE (gravure dépendante du rapport d'aspect) Autopolarisation (self-bias) Conditionnement de chambre (seasoning) Décapage plasma (ashing) Détection de fin d'attaque (endpoint) Effet d'antenne Gravure anisotrope