Qu'est-ce que Effet d'antenne ?

Phénomène pendant les étapes plasma où un conducteur, comme une longue ligne, collecte des charges à la manière d'une antenne et endommage l'oxyde de grille qui lui est relié. Prévenu en limitant le rapport de surfaces des interconnexions dans les règles de conception.

Nom japonais: アンテナ効果

Domaine: Gravure

Termes associés

Acide fluorhydrique tamponné (BHF) ALE (gravure de couches atomiques) ARDE (gravure dépendante du rapport d'aspect) Autopolarisation (self-bias) Conditionnement de chambre (seasoning) Décapage plasma (ashing) Détection de fin d'attaque (endpoint) Gravure anisotrope Gravure humide Gravure isotrope

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