Comme les résultats varient lorsque l'état des parois internes d'un équipement de gravure change, traitement préalable de plaquettes factices pour stabiliser cet état avant les produits.
Nom japonais: シーズニング
« Conditionnement de chambre (seasoning) » apparaît dans 1 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont Gravure.
Domaine: Gravure
Réponse : A. Conditionnement (seasoning)
Des produits de réaction se déposent sur les parois internes d'un équipement de gravure, et leur état modifie notamment la proportion de radicaux perdus aux parois, ce qui fait varier la composition du plasma et les résultats de gravure. Le seasoning consiste, par exemple après un nettoyage ou un remplacement de pièces, à traiter des plaquettes factices pour déposer un film constant sur les parois, ajuster leur état et stabiliser les résultats. On utilise aussi désormais des méthodes réinitialisant les parois dans le même état avant chaque traitement.
Le seasoning consiste, par exemple après un nettoyage ou un remplacement de pièces, à traiter des plaquettes factices pour déposer un film constant sur les parois, ajuster leur état et stabiliser les résultats.
L'état des parois internes d'un équipement de gravure modif…Plasma Acide fluorhydrique tamponné (BHF) ALE (gravure de couches atomiques) ARDE (gravure dépendante du rapport d'aspect) Autopolarisation (self-bias) Décapage plasma (ashing) Détection de fin d'attaque (endpoint) Effet d'antenne Gravure anisotrope Gravure humide