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Gravure

Quelle solution utilisée pour la gravure humide du SiO2 est de l'acide fluorhydrique tamponné par du fluorure d'ammonium ?

  1. ASPM
  2. BAcide phosphorique chaud
  3. CAcide fluorhydrique tamponné (BHF)
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Réponse : C. Acide fluorhydrique tamponné (BHF)

L'acide fluorhydrique tamponné est une solution d'acide fluorhydrique additionnée de fluorure d'ammonium pour stabiliser le pH ; la concentration de l'espèce dissolvant l'oxyde (HF2⁻) varie peu avec l'épuisement du bain, la vitesse de gravure est stable et la résine se décolle peu. Sur oxyde thermique, la vitesse est de quelques dizaines à environ 100 nm par minute. Elle sert au tracé de motifs dans l'oxyde, au retrait de l'oxyde natif et à l'évaluation de la qualité des films.

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