Was ist Gepufferte Flusssäure (BHF)?
Mit Ammoniumfluorid gepufferte Flusssäure. Sie dient zum nasschemischen Ätzen von SiO2 mit stabiler Ätzrate und geringer Schädigung des Resists.
Japanische Bezeichnung: バッファードフッ酸(BHF)
Fachgebiet: Ätzen
Verwandte Begriffe
ALE (Atomlagenätzen) Anisotropes Ätzen Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Aspektverhältnis Ätzselektivität Endpunkterkennung Hartmaske (Hard Mask) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma) Isotropes Ätzen