Phénomène où la vitesse de gravure diminue lorsque les motifs sont plus étroits et profonds, car ions et radicaux atteignent difficilement le fond. Aussi appelé effet de microcharge (microloading).
Nom japonais: ARDE(アスペクト比依存エッチング)
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Domaine: Gravure
Réponse : B. Gravure dépendante du rapport d'aspect (ARDE, effet de microloading)
Au fond des trous étroits et profonds, les radicaux se perdent par collision avec les parois, les ions sont déviés par les charges et atteignent difficilement le fond, et les produits de réaction s'évacuent mal ; la vitesse de gravure diminue donc lorsque le rapport d'aspect augmente. C'est l'ARDE (effet de microloading) : sur une même plaquette, les trous étroits sont moins profonds que les trous larges, et la profondeur varie selon la dimension. On y remédie par des couches d'arrêt de gravure et l'optimisation des conditions.
C'est l'ARDE (effet de microloading) : sur une même plaquette, les trous étroits sont moins profonds que les trous larges, et la profondeur varie selon la dimension.
Comment appelle-t-on le phénomène par lequel la vitesse de …Rapport d'aspect Acide fluorhydrique tamponné (BHF) ALE (gravure de couches atomiques) Autopolarisation (self-bias) Conditionnement de chambre (seasoning) Décapage plasma (ashing) Détection de fin d'attaque (endpoint) Effet d'antenne Gravure anisotrope Gravure humide