Chemische oplossing waarin fluorwaterstofzuur is gebufferd met ammoniumfluoride. Wordt gebruikt voor nat etsen van SiO2, met een stabiele etssnelheid en weinig schade aan de resist.
Japanse benaming: バッファードフッ酸(BHF)
“Gebufferd fluorwaterstofzuur (BHF)” komt voor in 1 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Etsen.
Vakgebied: Etsen
Antwoord: C. Gebufferd fluorwaterstofzuur (BHF)
Gebufferd fluorwaterstofzuur is een oplossing waarin ammoniumfluoride aan fluorwaterstofzuur is toegevoegd om de pH te stabiliseren. De concentratie van het belangrijkste oxide oplossende bestanddeel (HF2⁻) verandert door uitputting van de oplossing nauwelijks, zodat de etssnelheid stabiel is en de resist niet gemakkelijk loslaat. Voor thermisch oxide bedraagt de snelheid enkele tientallen tot 100 nm per minuut. Het wordt gebruikt voor het patroneren van oxide, het verwijderen van natuurlijk oxide en voor de evaluatie van de filmkwaliteit.
Gebufferd fluorwaterstofzuur is een oplossing waarin ammoniumfluoride aan fluorwaterstofzuur is toegevoegd om de pH te stabiliseren.
Welke oplossing, een met ammoniumfluoride gebufferd fluorwa…Natuurlijk oxide (native oxide) ALE (atomic layer etching) Anisotroop etsen Antenne-effect ARDE (aspect-ratio-afhankelijk etsen) Ashing Aspectverhouding Droog etsen Eindpuntdetectie Hardmask