Phénomène dans un réacteur plasma à couplage capacitif où l'électrode côté plaquette acquiert spontanément un potentiel continu négatif. Les ions positifs sont accélérés vers la plaquette, ce qui favorise la gravure anisotrope.
Nom japonais: セルフバイアス
« Autopolarisation (self-bias) » apparaît dans 1 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont Gravure.
Domaine: Gravure
Réponse : C. Autopolarisation (self-bias)
Sur une électrode soumise à une puissance haute fréquence, les électrons, légers et mobiles, affluent davantage que les ions ; l'électrode reliée par un condensateur prend donc en moyenne un potentiel continu négatif (autopolarisation, de quelques dizaines à quelques centaines de V). Cette différence de potentiel accélère les ions positifs du plasma vers la plaquette de façon quasi perpendiculaire, ce qui est exploité pour la gravure anisotrope. Modifier la puissance haute fréquence change l'autopolarisation et permet de régler l'énergie des ions.
Sur une électrode soumise à une puissance haute fréquence, les électrons, légers et mobiles, affluent davantage que les ions ; l'électrode reliée par un condensateur prend donc en moyenne un potentiel continu négatif (autopolarisation, de quelques dizaines à quelques centaines de V).
Comment appelle-t-on, dans les équipements à plasma notamme…Plasma Gravure anisotrope Acide fluorhydrique tamponné (BHF) ALE (gravure de couches atomiques) ARDE (gravure dépendante du rapport d'aspect) Conditionnement de chambre (seasoning) Décapage plasma (ashing) Détection de fin d'attaque (endpoint) Effet d'antenne Gravure humide