Comment appelle-t-on le phénomène par lequel la vitesse de gravure diminue lorsque les motifs deviennent plus étroits et plus profonds ?

Réponse : B. Gravure dépendante du rapport d'aspect (ARDE, effet de microloading)

Au fond des trous étroits et profonds, les radicaux se perdent par collision avec les parois, les ions sont déviés par les charges et atteignent difficilement le fond, et les produits de réaction s'évacuent mal ; la vitesse de gravure diminue donc lorsque le rapport d'aspect augmente. C'est l'ARDE (effet de microloading) : sur une même plaquette, les trous étroits sont moins profonds que les trous larges, et la profondeur varie selon la dimension. On y remédie par des couches d'arrêt de gravure et l'optimisation des conditions.