Was ist ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen)?

Verlangsamung der Ätzrate in schmaleren, tieferen Strukturen, weil Ionen und Radikale den Boden schwerer erreichen. Auch Mikroloading-Effekt genannt.

Japanische Bezeichnung: ARDE(アスペクト比依存エッチング)