실리콘 웨이퍼

CZ법으로 성장시킨 실리콘 결정에 도가니로부터 비교적 많이 유입되는 불순물은 무엇인가?

  1. A금
  2. B산소
  3. C헬륨
정답과 해설 보기

정답: B. 산소

CZ법에서는 석영(SiO2) 도가니로 실리콘을 녹이기 때문에 도가니에서 녹아 나온 산소가 결정에 약 10¹⁸ cm⁻³ 유입됩니다. 산소는 전위를 고착시켜 결정의 기계적 강도를 높이고, 열처리로 생기는 석출물이 게터링 사이트로 작용하는 장점이 있는 반면, 너무 많으면 결함이나 서멀 도너의 원인이 됩니다. 그래서 자기장을 걸어 대류를 억제하는 MCZ법 등으로 농도를 제어하고 용도별로 사양을 정합니다.

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