Quel est le principal danger lié à la manipulation du silane (SiH4), utilisé comme précurseur notamment en CVD ?

Réponse : A. Il est pyrophorique et risque de s'enflammer en cas de fuite dans l'air

Le silane est un gaz pyrophorique qui s'enflamme spontanément au contact de l'air ; en cas de fuite à forte concentration, il peut s'accumuler sans brûler immédiatement puis brûler de façon explosive. On le place donc dans des armoires à bouteilles ventilées et on le distribue par des canalisations équipées de détecteurs de fuite et de vannes de coupure d'urgence. Il n'émet pas de rayonnement et n'est pas non plus un gaz sûr ne nécessitant aucune gestion particulière. Il est largement utilisé comme précurseur pour la CVD de polysilicium, de SiO2 et de SiN.