Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques)

Pourquoi contrôle-t-on de façon particulièrement stricte l'humidité dans les canalisations de gaz halogénés comme le chlorure d'hydrogène ?

  1. AParce que l'humidité allège le gaz
  2. BParce qu'en présence d'humidité, il forme un liquide corrosif comme l'acide chlorhydrique, qui corrode les canalisations en inox et provoque une contamination métallique
  3. CParce que l'humidité change la couleur du gaz
Afficher la réponse et l'explication

Réponse : B. Parce qu'en présence d'humidité, il forme un liquide corrosif comme l'acide chlorhydrique, qui corrode les canalisations en inox et provoque une contamination métallique

Le chlorure d'hydrogène sec ne corrode presque pas l'inox, mais en présence d'humidité, il devient aussi corrosif que l'acide chlorhydrique. Lorsque la surface interne des canalisations se corrode, des métaux comme le fer, le chrome ou le nickel passent dans le gaz et contaminent les plaquettes, et les produits de corrosion deviennent aussi des particules. Les canalisations de gaz halogénés sont donc soigneusement séchées avant usage et l'humidité ramenée au niveau du ppb. Ce ne sont pas les variations de poids ou de couleur qui posent problème.

S'entraîner sur ce thème Retour au thème

Autres questions sur Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques)

  1. Quel est le principal danger lié à la manipulation du silane (SiH4), utilisé comme précurseur notamment en CVD ?
  2. Quel est l'ordre de grandeur le plus approprié de la pureté requise pour le silicium polycristallin (polysilicium) de qualité semi-conducteur ?
  3. Quel est l'indicateur typique utilisé pour contrôler la pureté de l'eau ultrapure en fabrication de semi-conducteurs ?
  4. Quels gaz sont principalement utilisés pour la gravure sèche de l'oxyde de silicium (SiO2) ?
  5. Quelle description de la cible utilisée en pulvérisation cathodique est correcte ?