Wat is het belangrijkste gevaar bij het hanteren van silaan (SiH4), dat onder meer als grondstof voor CVD wordt gebruikt?

Antwoord: A. Het is pyrofoor en kan ontbranden als het in de lucht lekt

Silaan is een pyrofoor gas dat spontaan ontbrandt bij contact met lucht; bij lekkage in hoge concentratie kan het zich ophopen zonder direct te branden en daarna explosief verbranden. Daarom wordt het in een afgezuigde gascilinderkast opgeborgen en geleverd via leidingen met lekdetectoren en noodafsluiters. Het zendt geen straling uit en is ook geen veilig gas waarvoor geen speciaal beheer nodig is. Het wordt veel gebruikt als grondstof voor CVD van polysilicium, SiO2 en SiN.