공정 재료(가스와 케미칼)
CVD 등의 원료로 쓰이는 실란(SiH4)을 취급할 때의 주된 위험성은 무엇입니까?
- A자연발화성이 있어 공기 중에 누출되면 발화할 우려가 있다
- B불연성이고 독성도 없으므로 특별한 관리가 필요 없다
- C강한 방사선을 방출한다
정답과 해설 보기
정답: A. 자연발화성이 있어 공기 중에 누출되면 발화할 우려가 있다
실란은 공기에 닿으면 저절로 발화하는 자연발화성 가스로, 높은 농도로 누출되면 바로 타지 않고 고였다가 폭발적으로 연소하기도 합니다. 그래서 배기되는 실린더 캐비닛에 넣고, 누출 감지기와 긴급 차단밸브를 갖춘 배관으로 공급합니다. 방사선은 내지 않으며, 특별한 관리가 필요 없는 안전한 가스도 아닙니다. 폴리실리콘, SiO2, SiN의 CVD 원료로 널리 쓰입니다.