Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)
Was ist die Hauptgefahr beim Umgang mit Silan (SiH4), das als Ausgangsstoff u. a. für CVD dient?
- AEs ist selbstentzündlich und kann sich entzünden, wenn es an der Luft austritt
- BEs ist nicht brennbar und ungiftig, daher ist keine besondere Kontrolle nötig
- CEs sendet starke Strahlung aus
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Antwort: A. Es ist selbstentzündlich und kann sich entzünden, wenn es an der Luft austritt
Silan ist ein pyrophores Gas, das sich bei Kontakt mit Luft von selbst entzündet; tritt es in hoher Konzentration aus, kann es sich zunächst ansammeln und dann explosionsartig verbrennen. Daher wird es in abgesaugten Gasschränken untergebracht und über Leitungen mit Leckdetektoren und Notabsperrventilen zugeführt. Es sendet keine Strahlung aus und ist auch kein harmloses Gas ohne besondere Kontrolle. Es wird breit als Ausgangsstoff für CVD von Polysilizium, SiO2 und SiN verwendet.