Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques)

Quel est l'ordre de grandeur le plus approprié de la pureté requise pour le silicium polycristallin (polysilicium) de qualité semi-conducteur ?

  1. AEnviron 99%
  2. BEnviron 99,99%
  3. CEnviron 99,999999999% (11N)
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Réponse : C. Environ 99,999999999% (11N)

Le silicium polycristallin de qualité semi-conducteur exige une pureté de classe « onze neuf » (11N), avec onze chiffres 9, les impuretés ne totalisant qu'environ 0,01 ppb. Même à l'état de traces infimes, les impuretés métalliques raccourcissent la durée de vie des porteurs et augmentent le courant de fuite. La matière est produite par le procédé Siemens, qui dépose le silicium par réduction du trichlorosilane par l'hydrogène. Pour le photovoltaïque, 6N à 9N peuvent suffire ; 99 % ou 99,99 % sont totalement insuffisants pour les semi-conducteurs.

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