プロセス材料(ガス・薬液)

CVDなどの原料として使われるシラン(SiH4)の取り扱い上の主な危険性はどれか。

  1. A自然発火性があり、空気中に漏れると発火するおそれがある
  2. B不燃性で毒性もないため、特別な管理は不要である
  3. C強い放射線を出す
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正解：A. 自然発火性があり、空気中に漏れると発火するおそれがある

シランは空気に触れると自然に発火することがある自然発火性のガスです。そのため、排気されたシリンダーキャビネットに収め、配管の漏れ検知や緊急遮断などの安全対策をとって使用します。

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