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Oxydation et diffusion

Pour une même gravure à l’acide fluorhydrique dilué, quelle est la relation générale entre les vitesses de gravure d’un oxyde thermique et d’un oxyde déposé par CVD ?

  1. AL’oxyde thermique est gravé plus lentement (il est plus dense)
  2. BL’oxyde thermique est gravé plus vite
  3. CLes deux sont toujours gravés à la même vitesse
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Réponse : A. L’oxyde thermique est gravé plus lentement (il est plus dense)

L’oxyde thermique, dense et peu défectueux, se grave lentement dans l’acide fluorhydrique dilué (par exemple 1%), à quelques nm par minute. L’oxyde CVD, selon ses conditions de dépôt, peut être moins dense ou contenir de l’hydrogène et de l’humidité, et se grave généralement plus vite. Le rapport de vitesse de gravure par rapport à l’oxyde thermique (WERR) sert d’indicateur de qualité du film ; une densification par recuit le rapproche de l’oxyde thermique.

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