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Oxydation et diffusion

Comment s’appelle le traitement qui introduit à la surface d’un oxyde de grille mince de l’azote produit par plasma ?

  1. ARedistribution (drive-in)
  2. BCMP
  3. CNitruration plasma
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Réponse : C. Nitruration plasma

La nitruration plasma introduit près de la surface de l’oxyde, à une température relativement basse de quelques centaines de ℃, de l’azote actif produit par un plasma d’azote, pour former un oxynitrure (SiON) contenant environ 10 à 20% d’azote. L’azote pouvant être concentré côté surface, on limite la pénétration du bore et l’on augmente la permittivité pour réduire l’EOT sans dégrader les propriétés de l’interface Si/SiO2 (mobilité, etc.). En nitruration thermique (recuit NO ou N2O), l’azote s’accumule à l’interface.

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