En LOCOS (oxydation localisée), comment s’appelle le phénomène par lequel l’oxyde pénètre en forme de bec d’oiseau sous le bord du masque de nitrure ?

Réponse : C. Bec d’oiseau (bird’s beak)

En LOCOS, les zones couvertes de nitrure ne s’oxydent pas, mais l’oxydant diffuse latéralement à travers l’oxyde tampon sous le nitrure et l’oxydation progresse, si bien que l’oxyde empiète en forme de bec d’oiseau (bird’s beak). L’empiètement atteint d’un côté environ la moitié de l’épaisseur d’oxyde et réduit la surface utile des composants ; le LOCOS a donc été remplacé vers le nœud 0.25 µm par le STI à tranchées. L’oxyde tampon est nécessaire pour protéger le silicium des contraintes du nitrure.