Oxidation und Diffusion

Welcher Zusammenhang gilt im Allgemeinen für die Ätzgeschwindigkeit von thermischem Oxid und CVD-Oxid in derselben verdünnten Flusssäure?

  1. AThermisches Oxid wird langsamer geätzt (es ist dichter)
  2. BThermisches Oxid wird schneller geätzt
  3. CBeide werden stets gleich schnell geätzt
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Antwort: A. Thermisches Oxid wird langsamer geätzt (es ist dichter)

Thermisches Oxid ist dicht und defektarm, sodass die Ätzgeschwindigkeit in verdünnter Flusssäure (z. B. 1 %) mit einigen nm pro Minute gering ist. CVD-Oxid hat je nach Abscheidebedingungen eine geringere Dichte oder enthält Wasserstoff und Wasser und wird daher im Allgemeinen schneller geätzt. Das Verhältnis zur Ätzgeschwindigkeit von thermischem Oxid (WERR) dient als Maß der Filmqualität und nähert sich durch Verdichten per Tempern dem thermischen Oxid an.

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