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Métrologie et analyse

Qu’évalue principalement la diffraction des rayons X (XRD) ?

  1. ALa contamination organique de surface
  2. BLa résistance carrée
  3. CLa structure cristalline, le paramètre de maille et la déformation des films
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Réponse : C. La structure cristalline, le paramètre de maille et la déformation des films

La XRD étudie la structure cristalline et la distance interréticulaire à partir de la condition de Bragg 2d·sinθ=nλ, selon laquelle les rayons X sont diffractés par les plans atomiques. En XRD haute résolution, la position des pics de diffraction de films épitaxiés comme SiGe donne la composition et la déformation, et la largeur des pics la perfection cristalline. Pour les films polycristallins, on obtient aussi la texture (orientation préférentielle). Elle ne mesure ni la contamination organique ni la résistance carrée.

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