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Lithographie

Pour un scanner actuel, quelle est la taille généralement maximale de la zone exposable sur le wafer en une seule exposition (un champ) ?

  1. AToute la surface du wafer (300 mm de diamètre)
  2. BEnviron 1 mm × 1 mm
  3. CEnviron 26 mm × 33 mm
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Réponse : C. Environ 26 mm × 33 mm

Un scanner typique expose en un champ une zone d'environ 26 mm × 33 mm (environ 858 mm²) sur le wafer, et répète l'opération en déplaçant le wafer pour exposer toute la surface. Cette taille constitue la limite indicative de la taille maximale d'une puce (limite du réticule), et les grands GPU l'utilisent presque entièrement. Au-delà, on recourt aux chiplets reliant plusieurs puces ou à des connexions sur le boîtier. En High-NA EUV, cette zone est réduite de moitié.

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