Comment appelle-t-on les points faibles d'une disposition conçue où la simulation d'exposition ou d'usinage prévoit que les motifs se pontent ou se rompent facilement ?

Réponse : A. Points chauds (hotspots)

Les points chauds sont les endroits d'une disposition où les motifs risquent de se court-circuiter (pont) ou de se rompre (pincement) face aux variations de dose ou de mise au point. Ils peuvent apparaître même si les règles de conception sont respectées, en raison de la combinaison avec les motifs environnants. On les détecte à l'avance par simulation de lithographie ou par comparaison de motifs (pattern matching), et on les traite par modification de la disposition, ajustement de l'OPC ou inspection ciblée sur wafer.