Quels facteurs limitant les performances gagnent en importance dans les transistors très miniaturisés ?

Réponse : A. Les résistances parasites des sources/drains et contacts, et les capacités parasites autour de la grille

Lorsque les transistors rétrécissent, la part des résistances des sources/drains et des contacts augmente par rapport à celle du canal, pouvant représenter près de la moitié de la résistance à l'état passant dans les nœuds avancés. De plus, l'espacement entre grille et contact se réduit à une quinzaine de nm, ce qui accroît les capacités parasites. L'amélioration des parties extrinsèques est donc devenue centrale : nouveaux matériaux de contact, espaceurs à lame d'air ou à faible permittivité, alimentation par la face arrière, etc.